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“保守的乐观”是对于MEMS器件市场预测的最佳描述。根据相关预测，某些特殊领域(如RF MEMS和汽车电子)要比其他领域发展更快速。
有一定影响力的欧洲组织NEXUS(多功能微系统优势网络，Network of Excellence in Multifunctional Microsystems)十分看好MST(微系统技术)器件占据的全球市场，其中包括MEMS器件，这种器件的销售额在2000年为300亿美元，而到2005年将达到680亿美元。根据NEXUS的定义，MST是“以微米为单位的微结构产品，并且具备微结构形状所提供的技术功能。这些产品将几个微型部件组合在一起，优化为一个整体系统，在许多方面(包括微电子)提供一项或几项特殊功能。” 术语MEMS源自美国的“硅谷”，它往往并不包括如生物MEMS设备、由玻璃或塑料制成的微结构及微型喷管等设备。
来自Roger Grace Associates的Roger Grace预言，全球MEMS器件汽车电子市场将稳步发展，预计到2007年年综合增长率将达到1.6%。他预计截至2007年，汽车电子MEMS的销售额将由目前的241亿美元增长到342亿美元，而增长最多的部分将是速度、压力、温度等类型的车用传感器。
根据预测，RF MEMS是最大的市场之一。Wicht Technologie Consulting预计，到2007年之前，全球RF MEMS器件的销售额会由今年的15万美元左右增长到10亿美元以上。
根据Yole Developement的预言，信息技术和电信行业将成为最大的市场。
作者：Roger Allan | 
