丹纳赫传动为半导体设备提供解决方案 |
美国丹纳赫传动以Dover为商标，推出用于半导体后端工艺的完善的晶片定位系统。美国丹纳赫传动设计和制造了各种定位系统，特别为缩短制造时间和优化制造水平而设计了直接插拔系统。
运转更平滑，更安静，更快
晶片炉系统应用
美国丹纳赫传动高精度直线运动系统、滑轨和台架，使晶片加工设备运转更长久、更平滑……周而复始地运转。
从电机到减速器、执行器直到轴承系统，具有50多年的经验和最广泛的产品选择，可以从同一技术源设计最节省成本、最高性能的成套解决方案。
晶片输送系统应用
美国丹纳赫传动高精度直线运动系统、滑轨和台架，使芯片加工设备运转更长久更平滑……周而复始地运转。
从电机到减速器、执行器直到轴承系统，具有50多年的经验和最广泛的产品选择，可以从同一技术源设计最节省成本、最高性能的成套解决方案。
美国丹纳赫传动的高性能定位系统举例
高性能200mm和300mm晶片平台：
美国丹纳赫传动 Triathalon平面空气轴承、直线运动晶片平台能够产出精确、高生产率和稳定性的最终产品。
空气轴承FPD台架系统：
美国丹纳赫传动的行业领先的通用型5、6 和7套台架系统能够满足最苛刻的环境要求。
恒速扫描平台：
美国丹纳赫传动空气轴承扫描平台具有31皮米分辨率和保持低于5纳米的CV跟踪误差，专为大多数高要求图像应用而设计。
高真空定位系统：
用来使整体直接进入处理腔（最小抽真空级1 X 10 -8 Torr）。
高速空气轴承：
能够在非常紧凑的X轴组件里进行高效率晶片扫描。
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